蒸镀调制盘及其分析

张伟; 赵恒谦

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蒸镀调制盘及其分析

张伟 , 赵恒谦

文章导航 > 激光技术 > 1989 > 13(6): 49-52

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蒸镀调制盘及其分析

张伟,
赵恒谦

1.
哈尔滨工业大学

Modulating grids for evaporation and analysis of them

1.
Harbin Institute of Technology

摘要: 本文对蒸镀薄膜过程中的蒸发柱子流调制盘的形式及作用进行了讨论;同时对具有调制盘存在时的蒸发速度、调制速度以及膜厚的关系进行了分析.文中给出了一个用调制盘稳定沉积速度的例子,并指出了实践中应注意的几个问题.
Abstract: The forms and functions of the modulating grids for the evaporating particle beam during the evaporation are discussed.The relationship among the evaporating rate,the modulating coefficient and the thickness of the depositing film is analysesed at the same time.An applied example of stabilizing the evaporating rate with the modulating grid is given.Some points to be noted in practice is also pointed out.
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