BA—510K镀膜机真空室的改装

章宏芬; 金林法; 杨本祺

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BA—510K镀膜机真空室的改装

章宏芬 , 金林法 , 杨本祺

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BA—510K镀膜机真空室的改装

摘要: BALZERS厂生产的BA-510K高真空光学镀膜机,具有较好的性能,如抽速较快,抽气系统能自动控制,有电子束蒸发设备,能监控膜厚等等。国内也进口了不少镀膜机,然而在镀制工件的面积,即膜厚均匀分布方面,电子束蒸发源设计及膜厚监控方面均有待进一步改善,因为这些方面是镀膜机最为重要的部件,为此,我们对BA-510K镀膜机过行了改装,设计了小型多柑涡全水冷的磁偏转电子枪代替了原来的环形电子枪,计算了膜厚分布的均匀性,改变了电子枪的位置,适当调整了蒸发源位置和球形夹具的半径,获得了最大的膜厚均匀面积,并为了用电子束蒸发氧化物等硬膜材料,改变了换监控片的方法,又采用单色仪代替了滤光片,可任意选择监控波长。

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BA—510K镀膜机真空室的改装

收稿日期: 1984-12-11
网络出版日期: 1985-09-25

摘要: BALZERS厂生产的BA-510K高真空光学镀膜机,具有较好的性能,如抽速较快,抽气系统能自动控制,有电子束蒸发设备,能监控膜厚等等。国内也进口了不少镀膜机,然而在镀制工件的面积,即膜厚均匀分布方面,电子束蒸发源设计及膜厚监控方面均有待进一步改善,因为这些方面是镀膜机最为重要的部件,为此,我们对BA-510K镀膜机过行了改装,设计了小型多柑涡全水冷的磁偏转电子枪代替了原来的环形电子枪,计算了膜厚分布的均匀性,改变了电子枪的位置,适当调整了蒸发源位置和球形夹具的半径,获得了最大的膜厚均匀面积,并为了用电子束蒸发氧化物等硬膜材料,改变了换监控片的方法,又采用单色仪代替了滤光片,可任意选择监控波长。