真空镀制干涉薄膜时监控片高度的计算

丁方译; 黄君兰校

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

真空镀制干涉薄膜时监控片高度的计算

丁方译 , 黄君兰校

文章导航 > 激光技术 > 1983 > 7(3): 35-36

引用本文:

Citation:

真空镀制干涉薄膜时监控片高度的计算

摘要: 在用真空热蒸发介质镀制干涉薄膜时,膜层的厚度通常是用光电光度法进行控制的,其中用窄带干涉滤光片分出单色控制光束。这时,为了在镀件上得到光学厚度为λ/4的膜层(λ是监控滤光片的中心波长),镀件样品应放置在蒸发源上方一定的高度处。

[1]	西伧 , 周九林 . 多层光学薄膜镀制中的一些实际问题. 激光技术, 1982, 6(3): 45-50,18.
[2]	周密译 , 夏开校 . 用二元气相混合法镀制预定折射率的光学薄膜. 激光技术, 1987, 11(1): 18-19.
[3]	谢克诚 . 用激光干涉法实时监控同轴磁控溅射ZnO薄膜的厚度. 激光技术, 1991, 15(6): 344-348.
[4]	刘金成 , 王骐 , 马祖光 . Na2近红外激光振荡用谐振腔片镀制. 激光技术, 1993, 17(2): 78-82.
[5]	严嵋 . 金膜的镀制及其反射率的测量. 激光技术, 1981, 5(4): 49-51.
[6]	于祖兰 . 薄膜蒸镀. 激光技术, 1991, 15(2): 96-96.
[7]	王学仁 . 对于蒸镀薄膜柱状结构的讨论. 激光技术, 1986, 10(4): 23-26.
[8]	苏美开 , 杨振华 . 光斜入射时波片延迟量的变化. 激光技术, 1991, 15(1): 49-51.
[9]	李晓平 , 易新建 , 史铁林 . DWDM窄带滤光片膜层的误差分析与监控策略. 激光技术, 2006, 30(3): 313-316.
[10]	张波 , 黄德修 . 镀有高反膜的1/4波片工作特性分析. 激光技术, 2003, 27(1): 29-30.
[11]	周耀译 , 卢中尧校 . 吸收薄膜光学常数的计算. 激光技术, 1981, 5(3): 34-38.
[12]	许贝贝 , 陆健 , 张宏超 , 高楼 , 唐懋 . 高真空激光等离子体的同步移相干涉诊断及仿真. 激光技术, 2024, 48(1): 14-19. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.01.003
[13]	蒋锐 , 曹三松 . kHz频率时单击超快脉冲的光谱相关干涉法. 激光技术, 2003, 27(6): 605-605.
[14]	刘盛刚 , 李泽仁 , 刘乔 . 基于时频分析的自混合干涉信号处理方法研究. 激光技术, 2009, 33(6): 626-629. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.06.019
[15]	赵学民 , 汪盛烈 , 杨海 , 王晓东 , 周琼 , 李中清 , 张忠国 . 膏药在线激光制孔的研究. 激光技术, 2006, 30(3): 308-310.
[16]	戴尚峰译 , 彭长华校 . 长期存放的干涉滤光片的特性变化. 激光技术, 1987, 11(1): 23-25.
[17]	严嵋 , 卢中尧校 . ZnS/MgF2窄带干涉滤光片的稳定性. 激光技术, 1982, 6(4): 52-54.
[18]	方溁 , 李劲松 . 遗传算法应用于干涉滤光片的设计. 激光技术, 2010, 34(5): 657-660. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.O5.022
[19]	孔凡美 , 李国华 , 郝殿中 , 宋致堂 . 云母波片偏光干涉谱随温度变化的漂移. 激光技术, 2009, 33(5): 538-540. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.05.027
[20]	唐孝容 , 李剑峰 , 张大勇 , 陶彦辉 , 刘海涛 . 高速运动飞片的F-P干涉测量技术研究. 激光技术, 2007, 31(2): 172-174.