精密金属镜面技术中的一些问题

陆锡南

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精密金属镜面技术中的一些问题

陆锡南

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精密金属镜面技术中的一些问题

陆锡南

摘要: 长期来,人们一直在改进金属镜面的物理及光学性能,来实现光学玻璃所能达到的面形精度、稳定性和表面光洁度(表面光洁度的均方误差为15～80埃)。用作金属镜面的材料(从红外、可见光到紫外波段)主要有:铜,铝,铍,钛,钼,不锈钢,钽,钨,铼,铱等。然而由于大多数金属的多晶结构,以致用常规抛光技术不能达到优质光学镜面所要求的超光滑(表面光洁度σλ)、低散射水平的要求。

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精密金属镜面技术中的一些问题

陆锡南

收稿日期: 1982-12-22
网络出版日期: 1983-05-25

摘要: 长期来,人们一直在改进金属镜面的物理及光学性能,来实现光学玻璃所能达到的面形精度、稳定性和表面光洁度(表面光洁度的均方误差为15～80埃)。用作金属镜面的材料(从红外、可见光到紫外波段)主要有:铜,铝,铍,钛,钼,不锈钢,钽,钨,铼,铱等。然而由于大多数金属的多晶结构,以致用常规抛光技术不能达到优质光学镜面所要求的超光滑(表面光洁度σλ)、低散射水平的要求。