用于半导体退火的微处理器控制激光扫描系统

谭显裕译; 朱清风校; 胡守本校

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用于半导体退火的微处理器控制激光扫描系统

谭显裕译 , 朱清风校 , 胡守本校

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用于半导体退火的微处理器控制激光扫描系统

1.
华中精密仪器厂

摘要: 研究了一台用5瓦氩离子气体激光器的输出辐射扫描试样表面的装置.用一台微处理机控制x轴和y轴反射镜.实现了六种图形以及它们的任意组合的激光扫描.扫描速率达每秒33.6度,分辨率达每步0.034度.文中讨论了这种系统的优点和局限性.

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