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多层光学薄膜镀制中的一些实际问题

西伧 周九林

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多层光学薄膜镀制中的一些实际问题

  • 摘要: 下面刊载的是美国著名薄膜光学家 A·西伧(Alfred Thelen)博士,在给译者的私人通信中寄来的文稿。信中作者指出,根据他们的经验,并不是膜厚监控器限制了薄膜镀制精度。本刊今后将陆续刊登这类未曾公开发表的颇有实用价值的国外文献,以飨读者。
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出版历程
  • 刊出日期:  1982-05-25

多层光学薄膜镀制中的一些实际问题

  • 1. 209所

摘要: 下面刊载的是美国著名薄膜光学家 A·西伧(Alfred Thelen)博士,在给译者的私人通信中寄来的文稿。信中作者指出,根据他们的经验,并不是膜厚监控器限制了薄膜镀制精度。本刊今后将陆续刊登这类未曾公开发表的颇有实用价值的国外文献,以飨读者。

English Abstract

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