薄膜组分和性能同蒸发器结构关系的探讨

岳泷坤译; 卢中尧校

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薄膜组分和性能同蒸发器结构关系的探讨

岳泷坤译 , 卢中尧校

文章导航 > 激光技术 > 1982 > 6(1): 43-46

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薄膜组分和性能同蒸发器结构关系的探讨

1.
湖光仪器厂;
2.
209所

摘要: 正如早在文献[1]中所述,决定膜层老化的氟化物膜化学计量组分的破坏,发生在材料蒸发过程和凝镀在基片上的过程中.根据这个观点,值得注意的是研究这样的蒸发条件:即该条件下能凝镀化学计量薄膜.

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