光学薄膜的几种测量方法(三)
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摘要: 用作激光反射镜的多层介质膜,要求尽量低的光损耗。实验测定表明,膜系的吸收常常小到可以忽略,因而损耗主要来自膜的光散射。介质膜系的光散射薄膜的成核和成长机理,引起膜层微结构的不均匀性,便造成光散射。因此,配合光散射测量,通过对膜层微断面组织的观察,对多层膜的微结构进行了研究。
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Key words:
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[1] TSF, 1976, Vol.34, P.283. [2] JOSA, Vol. 66. [3] TSF, 1975, Vol. 27, P.83. [4] JOSA. 1971, Vol. 61, F. 351. [5] Opt.Conmun.,1975, Vol.13, P. 327. [6] Opt. Commun.,1973, Vol.8,P.124. [7] OMIT, 1975,No.12, P.38. [8] J,Appl,Phys.,1973, Vol.44, P.3694. [9] Appl, Opt.,1965, Vol. 4,P.883. [10] Opt, Acta.,1974, Vol. 24, P.293. [11] TSF, 1976, Vol.34, P.343. [12] TSF, 1976, Vol. 34, P.363. [13] TSF, 1970, Vol.6,P.349. [14] TSF, 1976, Vol. 37, P.163. [15] TSF, 1976, Vol. 34, P.349. [16] Appl, Opt.,1974, Vol.13, P.1405. [17] 《光学薄膜技术》,第182-186页,周九林、尹树百译,国防工业出版社. [18] OMⅡ, 1975,No.4,P.29.
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