用扩展电阻法测量杂质分布

佘云龙译; 汪建设校

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用扩展电阻法测量杂质分布

佘云龙译 , 汪建设校

文章导航 > 激光技术 > 1979 > 3(1): 55-67

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用扩展电阻法测量杂质分布

摘要: 随着半导体制造技术的进步,对掺入半导体内杂质总量或分布的正确评价已成为人们的强烈愿望。为要测量半导体内的杂质分布,以前人们也曾尝试过各种各样的方法,但能适用于总的杂质分布测量的一般方法却还没有。当今仍然采用着电容—电压(C—V)法。

[1]	D.H.Dickey, Operating Instruction Manual For Automatic Spreading Resistance probe, ASR-100, A-1
[2]	P.A.Schumann, Jr.,and E.E.Garder J.Electrochem, Soc.,S olid State Science, 116, 1,(1969)
[3]	H.E.Schiott, Can, J, Phys.46,449 (1968)译自《信学技报》(日)vol.76,No.30, SSD76-13.1976, 5, pp.57-66

[1]	王廷福 , 张纯玉 . 用CCD测量激光束的光强分布. 激光技术, 1991, 15(2): 97-103.
[2]	王亚伟 , 贺安之 , 刘晓然 . 微粒粒度分布FD测量法的改进. 激光技术, 2001, 25(5): 356-361.
[3]	顾芳 , 杨娟 , 卞保民 , 贺安之 . 用粒子计数法测量颗粒物质量浓度. 激光技术, 2007, 31(4): 360-363.
[4]	D. R. Skinner , J. Tregeuas—Williams , 贺大径译 , 徐立译 , 陈亦庆校 . 用蒙特卡洛法计算光抽运下激光晶体中的总能量和能量分布. 激光技术, 1979, 3(2): 45-58.
[5]	罗定威译 , 古鸿仁校 . 用焦斑法测量激光辐射发散角的误差. 激光技术, 1984, 8(4): 41-43.
[6]	郝正福译 , 时顺森 , 屈乾华校 . 用干涉法测量固体激光器激活介质的热透镜焦距. 激光技术, 1979, 3(4): 71-72.
[7]	蔡永鑫 . 用变孔法测散装置测量激光天线的应用性能. 激光技术, 1981, 5(4): 27-32.
[8]	薛焕然 , 张耀宁 , 龚志伟 , 丘军林 . 用辐射测量法研究CuⅡ激光振荡的增益特性. 激光技术, 1988, 12(1): 9-14.
[9]	宋正方 . 干涉法测量中的信噪比. 激光技术, 1993, 17(3): 163-167.
[10]	杨晔 , 张镇西 , 蒋大宗 . 微粒直径及直径分布的激光测量技术. 激光技术, 1997, 21(2): 122-127.
[11]	赵建荣 , 李春金 . USED CARS测量乙炔/空气火焰的温度分布. 激光技术, 1993, 17(3): 131-136.
[12]	魏亚运 , 周昕 , 王梦婷 , 呼有军 . 基于光学扫描全息测量相位物体的相位分布. 激光技术, 2016, 40(6): 820-824. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.06.010
[13]	孙春生 , 张晓晖 . 电解水产生氢气泡尺度分布的测量. 激光技术, 2013, 37(5): 622-626. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.013
[14]	陈臻懿 , 刘文清 , 张玉钧 , 张春光 , 阮俊 , 何俊峰 . 用云高仪测量边界层高度. 激光技术, 2009, 33(5): 455-458. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.05.022
[15]	周建波 , 魏合理 , 陈秀红 , 徐青山 . 相关k分布法在水汽强吸收带计算中的应用. 激光技术, 2009, 33(2): 176-179.
[16]	谢克诚 . 用激光干涉法实时监控同轴磁控溅射ZnO薄膜的厚度. 激光技术, 1991, 15(6): 344-348.
[17]	姜铃珍 , 刘海疆 , 李成江 , 邹立勋 , 耿完桢 . 用激光全息法研究Ⅰ型裂纹尖端附近横向应变. 激光技术, 1994, 18(2): 106-109.
[18]	于淑范 , 李俊书 . 阈值法测量激光束发散角. 激光技术, 1987, 11(6): 45-48,30.
[19]	肖明海 . 透明介质厚度的散斑法测量. 激光技术, 1989, 13(3): 52-56.
[20]	郝殿中 , 吴福全 , 孔伟金 . 干涉法测量晶体的折射率. 激光技术, 2003, 27(5): 407-408.